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石英坩堝(guō)的分類

發布時間(jiān):2022/12/13 10:45:44

石英坩(gān)堝分為方形、圓(yuán)形兩大類:圓形的石英坩堝是用在(zài)單晶爐裏拉製單晶矽的;方形的石英坩堝(guō)是用在多晶矽鑄錠中的。 
(1)圓形的石英坩(gān)堝。圓形(xíng)的石英坩堝又分(fèn)透(tòu)明和不透明兩種。透明的石英坩堝是(shì)用石(shí)英玻璃(lí)管在氫氧火焰(yàn)的高溫中擴徑、封端後,再吹製而成的(de)。透明的石英坩堝具有石英玻璃的(de)所有特性,它是高純的二氧化矽體,對高純矽的純度(dù)影響極低;它(tā)具有極低(dī)的膨脹係數、非常低的熱導率、相當良好的電絕緣性,特(tè)別是耐(nài)溫性能極好,可在(zài)1450°C 以下使用,所(suǒ)以可用在單晶爐裏盛裝熔化的多晶矽液體。但透明石英坩堝的製作工藝複(fù) 雜,成本太高,而且容易導致(zhì)不均勻的熱傳輸,不利於電子(zǐ)工業的發展。另外,現在的製(zhì)造方法(fǎ)還不能製造出大口徑的透明石英坩堝。不透明的石英坩堝是用(yòng)電弧法(fǎ)製成的(de),工藝簡單,成本低,而且可以(yǐ)生產出大口徑的坩堝,完(wán)全(quán)可以滿足單晶矽生產的需要(yào)。
(2)方形的石英坩(gān)堝。方形的石英坩堝一般不是純的石英玻璃製成的,是(shì)用石英陶瓷製(zhì)成的,其全稱(chēng)應該是“方形石英玻璃陶瓷坩堝”


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